2.　流量制御関連

マスフロメータ

Mass flow meter.

気体の質量流量を計測できる流量計です。

内部に組み込まれた非常に小さな電熱線の冷却率で流速を計測する「熱線式」によるものが多いです。

質量流量は体積流量と異なり、温度や圧力の影響を受けないため、実験で使いやすいです。

流量制御機能を備えたマスフローメータをマスフローコントローラと呼びます。

特に微小流量などでの利用に便利です。

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