2.　流量制御関連

流量計

Flow meter.

流体の流量を計る機器です。

オゾン利用においては、流量はオゾンの供給量や濃度と密接な関係にあるためその測定は非常に重要となります。

様々な原理による多様な種類の流量計が存在しますが、オゾン利用の際には下記に述べる二つが使いやすいです。（大規模な水処理や漂白のような大流量の場合は異なります）

面積流量計

テーパーのついた管の内部の浮き子（フロート）の高さで流量を計測するタイプのものです。

比較的低価格であることが特長です。

流量調節弁が付随しているタイプのものが使いやすいです。

面積流量計は、目盛った圧力以外の圧力条件では異なった値を示すので注意が必要です。

オゾンが流通する個所に配置する場合は、接ガス部がテフロンやステンレスなどの耐オゾン性のものである必要があります。

マスフローメータ

気体の質量流量を計測できる流量計です。

質量流量は体積流量と異なり、温度や圧力の影響を受けないため、実験で使いやすいです。

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