2.　流量制御関連

流量調節弁

Flow control valve.

下流側の気体の流量を調節するためのバルブです。

尖った円錐状の弁（ニードル弁）を台座に対して上下させ、気体が弁と台座の隙間を通る際に生じる圧力損失を利用して流量を調節する構造の物が多いです。

オゾンが流通する個所に配置する場合は材質は耐オゾン性のあるステンレスやテフロンなどを用いる必要があります。

ただし、テフロン製の流量調節弁は、弁が変形するため調節精度が悪く余りお薦め出来ません。

ステンレス製の流量調節弁はスウェージロック社などから購入出来ます。

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