3.　オゾン発生関連

紫外線式オゾン発生器

酸素を含む気体（通常空気）に紫外線を照射してオゾンを発生させる方法によるオゾン発生器です。

紫外線源としては通常石英ガラス製の低圧水銀ランプが用いられます。

このランプは185nm及び254nmの波長の紫外線を出しますがオゾンの生成に寄与するのは185nmの紫外線です。

波長185nmのフォトンを酸素分子が吸収すると酸素原子に解離し、その酸素原子が酸素分子と結合しオゾンを生成します。

なおオゾンは水銀ランプから出されるもう一方の波長 254nmのフォトンを吸収しやすく、吸収すると分解してしまいます。

したがって水銀ランプを用いた方法では高濃度のオゾンは得られません。

しかし、水銀ランプによるオゾン発生器は非常に簡易であるために空気清浄（殺菌、脱臭）等少量オゾン利用分野で普及しています。

なお、近年キセノンエキシマランプから発生する172nmの紫外線を用いた紫外線式オゾン発生器が開発され、濃度数w％のオゾンを発生するということです。

このオゾン発生装置を用いて紫外線照射とオゾンを組み合わせたいわゆるUV/オゾン洗浄装置等の実用化も進められているようであり、紫外線式オゾン発生器の利用はこれからというところかも知れません。

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