3.　オゾンガス製造方法

（1）放電法

放電の原理から主に無声放電法と沿面放電法が実用されてます。

平行平板状もしくは同軸円筒状に配置された一対の電極の間に酸素含有気体を流しつつ、交流高電圧をかけて、酸素含有気体中に放電を起こさせてオゾンを発生させます。

この一対の電極の表面は一方、もしくは双方がガラスなどの誘電体で被覆されている必要があります。

放電はこの誘電体表面における電荷が正負交互に変動するのに伴って気体（空気もしくは酸素）中で発生します。

無声放電法の原理

沿面放電法は、平面状の電極の表面をセラミックスなどの誘電体で覆い、その誘電体の表面に線状の電極を配置して、平板状電極と線状電極の間に交流高電圧をかけて誘電体の表面に放電を起こさせてオゾンを発生させます。

このとき誘電体の表面で生じる放電は沿面放電と言われるものなので、この方法を沿面放電法と言います。

沿面放電法の原理

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